結構式
　　　　

CAS： 144317-44-2
分子式： C22H15F9O3S2
分子量： 562.46
 
中文名稱： 全氟丁基磺酸三苯基锍鹽
 
英文名稱： Triphenylsulfonium nonaflate
　　　　　 Triphenylsulfonium perfluoro-1-butanesufonate
 
性狀描述： 白色結晶粉末，熔點84-88℃ ，溶解性　丙二醇單甲基醚酯(PGMEA)約50%，γ-丁基內酯約65%，乙酸乙酯約65% 。PAG-4L在樹脂和溶劑中溶解性能好，酸性強，純度高，熱穩定性高，揮發性低。
 
用途： 表面活性劑(SAA)，陽離子光引發劑，光致產酸劑(PAG)，與全氟辛基磺酸三苯基锍鹽(TPS-PFOS)相比，安全、衛生、低毒、環境友好，可作為目前157-nm、193-nm、248-nm光刻膠中常用光酸劑(PAG)全氟辛基磺酸三苯基锍鹽(TPS-PFOS)的替代品。