結構式
　　　　

CAS: 　4071-88-9
分子式: C7H16O2Si
分子量: 160.29

中文名稱:  三甲基硅乙酸乙酯
                   (三甲基硅基)乙酸乙酯

英文名稱:  Ethyl (trimethylsilyl)acetate
                   ETSA

性質描述:　無色液體，密度0.876，沸點156-159℃，折射率1.413-1.416，閃點35℃，遇水分解。

用途: 有機硅材料中間體。