【標題】在含氮氣中六甲基環三硅氧烷的等離子體聚合
【作者】余自力 葉牧
【關鍵詞】等離子體 聚合 甲基硅氧烷
【刊名】輻射研究與輻射工藝學報 1989-7-3
【ISSN】1000-3436

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【論文】六甲基環三硅氧烷等離子體聚合膜的應用.pdf