三乙基硅烷生產過程中格氏縮合后得到的產物為三乙基硅烷、三甲苯（沸點165～166℃）、少量低沸的混合物，對三乙基硅烷的提純 本項目采用先集濃再精餾的方法。先減壓蒸餾集濃得到含量在60%以上的正沸，然后對正沸進行精餾，含量97%以上的產物，得到含量99.0%以上的產品。高沸主要為溶劑，精餾得到含量99%以上的回收三甲苯進行重利用。