CAS： 7783-82-6
分子式： WF6
分子量： 297.84

中文名稱： 六氟化鎢

英文名稱： Tungsten fluoride

性質描述：無色氣體或淡黃色液體。有強刺激性。有毒，其毒性與氟相似。溫度很低時呈白色固體。能溶于有機溶劑并產生特殊的顏色。遇水分解。在空氣中被潮氣分解而強烈冒煙，生成黃鎢酸或三氧化鎢。化學性質活潑。幾乎能和所有的金屬(除金和鉑)反應。對鎳、蒙乃爾合金和不銹鋼也有腐蝕性，但Ni和不銹鋼可抗其腐蝕性。干燥狀態時，對玻璃的腐蝕性較弱，而在濕氣中則能迅速反應。與氣態氨反應強烈。能被氨水或堿所吸收。與堿金屬氟化物可成復鹽。溶于苯等多種有機溶劑。

用途:六氟化鎢（WF6）是唯一能穩定存在的鎢的氟化物，具有極強的腐蝕性，可根據外界環境的變化表現出靈活的物化性能，被廣泛應用于工業生產的各個領域。六氟化鎢在電子工業中主要作為集成電路的配線材料使用，其在經過化學氣相沉積工藝后可形成金屬鎢導體膜，鎢導體膜在集成電子學中通常被用作高傳導性的互連金屬、金屬層間的通孔和垂直接觸的接觸孔以及鋁和硅間的隔離層，因此被廣泛應用于半導體集成領域；另外，六氟化鎢還可以應用于太陽能吸收器以及X射線發射電極的制造、導電漿糊等電子元器原材料。

（1）一種強氟化劑，用于氣相沉積法制鎢膜。
（2）在微電子工業中用作化學氣相淀積硅化鎢或鎢，以制作低電阻、 高熔點的互連線。