結構式
　　　

CAS: 994-30-9
分子式: C6H15ClSi
分子量: 150.7218

中文名稱: 三乙基氯硅烷

英文名稱: Triethylchlorosilane
                  Trifluoroacetic acid sodium salt

性狀描述：無色液體。熔點-50℃，沸點142-144℃，密度0.898g/mL(25℃)，折射率n20/D 1.43，閃點85°F。

生產工藝：在摩爾比為3～3.5∶1的銅和氯化亞銅作為催化劑條件下，用氯乙烷與硅在330～370℃、催化劑的催化條件下進行反應而得。

質量標準：
外觀 無色至微黃色液體
含量 ≥99%
沸程 144-145°C

用途：合成有機硅的原料、中間體及用作乙基硅油、乙基硅橡膠的封端劑。

儲存方法：干爽的惰性氣體下，保持容器密封，儲存在陰涼，干燥的地方。

參考文獻：
1、乙基氯硅烷制備的進展 李亞芬; 趙濱; 蘇仲坤 化學工程師 1997-12-26 期刊
2、三乙基硅基乙炔的合成 張春文; 韓建國 化工管理 2017-06-21 期刊
3、辛基三乙氧基硅烷/十八烷基三氯硅烷均相混合自組裝單分子膜的表征及其形成機制 朱志文; 徐國華; 安越; 何潮洪 物理化學學報 2014-08-15 期刊 5
4、辛烷基三乙氧基硅烷/十八烷基三氯硅烷混合自組裝單分子膜的制備 馮軍勇 浙江大學 2007-05-01 碩士 8
5、甲基三氯硅烷——甲基三乙氧基硅烷二元體系等壓汽液平衡研究 余淑嫻; 陳華龍; 邱祖民; 胡任昌; 羅志勇 南昌大學學報(理科版) 2002-06-15 期刊 3