結構式
             

CAS： 1825-62-3  
分子量： 118.25 
分子式： C5H14OSi

中文名稱： 三甲基乙氧基硅烷
                   乙氧基三甲基硅烷

英文名稱： ethoxytrimethyl-Silane
                   Trimethylethoxysilicane

性質描述： 無色液體。不溶于水，可混溶于多數有機溶劑。熔點-83℃，沸點75-76 ℃，密度0.757g/mL(25 ℃)，折光率n20/D 1.374，閃點-18℃。

用途： 用于硅有機化合物的合成, 也用作憎水劑。