碳還原法硅原料(二氧化硅或單質硅)與碳原料(炭黑)混合，在1300～1800℃非氧化氣氛中加熱進行還原反應，得到碳化硅晶須。氣相法有機硅化合物(甲基三氯硅烷)或鹵化硅與烴類的混合物，在有還原性氣體存在并于1100～1500℃下進行熱分解反應，得到高純碳化硅晶須。氮化硅轉化法以氮化硅和碳為原料，在一氧化碳非氧化性氣氛中，于1400～1900℃溫度下加熱進行反應，得到碳化硅晶須。另外還有單質硅與烴在有硫化氫存在的條件下進行反應的方法，亦可得到碳化硅晶須。