可以有多種制法。采用的原料可以是二甲苯、三甲苯、四甲苯或蒽。氧化的方法有液相法和氣相法等。
1.均四甲苯氣相氧化 此法特點是工藝簡單，可省去脫水成酐工序，除空氣外不用其他氧化劑（如硝酸、高錳酸、鉻酸等），也不需液相所必需的催化劑分離工序，并可連續生產，易于實現自動化操作，是國外發展的主要方法。所用的原料也可以從1,2,4-三甲苯出發，在催化劑存在下，與丙烯烷基化生成1,2,4-三甲基-5-丙基苯，再以氣相空氣催化氧化得到均苯四甲酸二酐。
2.由二甲苯（對二甲苯或間二甲苯）經氯甲基化、氧化、環化而得。工業品均苯四甲酸二酐為白色至淡黃綠色結晶，一級品熔點284-287℃，二級品熔點283.5-287℃。由1,2,4-三甲苯用氧化法生產時，每噸產品消耗1,2,4-三甲苯3000kg、丙烯1200kg。